YAMADA山田光學 晶圓缺陷玻璃照明燈

YAMADA山田光學 晶圓缺陷玻璃照明燈

根據(jù)具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅

等半導體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等

可照明様品表面範囲於400.000Lx以上。

因使用鹵素光源燈的光源，具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。

冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3

二段切換構(gòu)造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。

型號：YP-150I照度范圍φ30 可對應檢查6寸半導體晶片

型號：YP-250I照度范圍φ60 可對應檢查8英寸半導體晶（通風機可選擇螺旋式風扇或者管道通風型）

宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導體晶片及液晶基板制品表面的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。

大于400,000luxes的照明光線可容易檢測出只有精密探測儀才可測出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia).

使用鹵素燈作為光源，色溫高達3400K，照光和顏色均一了穩(wěn)定強光的照射。

由于冷鏡的使用，使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少1/2   到 1/3

光束直徑由鏡片調(diào)整30-50mm 之間調(diào)整

底部開光，調(diào)整照明勘察器高度，操作簡便，可控制光量